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SMIF
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名稱 PS-12U 性能 動作對象 200mm SMIF Pod 重復定位精度 士0.1mm 開關盒行程 220mm 開盒時間 13s 關盒時間 14s 片盒檢查 RFID讀取、mapping、晶圓探出檢測、手臂誤入檢測、落座檢測 概述 安裝形式 桌上型 潔凈度 Class 1@0.1um 外形尺寸 436Wx421Dx770H(mm） 本體重量 35kg 廠務 電源 單相AC220V,50/60Hz -
服務熱線：
濟南總部：山東省濟南市高新技術開發區航天大道普翼機器人產業園
杭州子公司：杭州市蕭山區蕭山經濟開發區鴻興路477號蕭山機器人小鎮二期4幢
上海子公司：上海市嘉定區南翔鎮翔江公路485號1號
深圳子公司：深圳市寶安區松崗街道松江路6號滿京華科創工坊大樓2棟1201號
蘇州子公司：蘇州市吳中區木瀆鎮珠江南路1066號金楓創意商務中心1號樓6樓607室
郵箱：marketing@robotphoenix.com
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