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清洗機器人 四手 撈取
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項目 參數 性能 行程 Z軸(升降) 585mm(可定制) Theta軸(旋轉) 340deg R1/R2/W1/W2軸(伸縮) 445mm 最高速度 Z軸(升降) 650mm/sec Theta軸(旋轉) 250deg/sec R1/R2/W1/W2軸(伸縮) 1500mm/sec 重復定位精度 Z軸(升降) ±01mm Theta軸(旋轉) ±0.02deg R1/R2/W1/W2軸(伸縮) ±0.1mm 最小回轉直徑 φ585mm 可達半徑 580mm 概覽 支持wafer尺寸 6寸/8寸/12寸 潔凈度 Class 1@0.1um 負載 1.0kgf Fork Fork形式 撈取 Fork材質 陶瓷 廠務 電源 單相AC220V,50/60Hz -
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