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標準大氣晶圓機器人
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機器人型號 RW-A000D系列標準大氣晶圓機器人 雙臂標準 雙臂高負載 性能 行程 Z軸 300/450/500mm T軸 0~340deg R/W軸 臂展：300mm/360mm 最高速度 Z軸 500mm/s T軸 260deg/s 240deg/s R/W軸 1100mm/s 750mm/s 重復定位精度 Z軸 ±0.1mm T軸 ±0.02deg R/W軸 ±0.1mm 概述 控制軸數 4 潔凈度 Class 1@0.1um 負載 1.5kgf(含末端執行器) 4kgf (含末端執行器) 安裝形式 頂部/底部(安裝) 線纜長度(機器人-控制器) 3m(標準) 電箱尺寸 400x300x155mm I/0接口 5IN;10OUT 廠務 電源 單相AC220V,50/60Hz 氣源 壓縮空氣 0.4~0.5MPa 真空 -50~-70kPa -
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RW-A022D+FV081（Z450+R190+8Inch Vac Fork）.pdf
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